マルチガス混合装置
(FL type)

端末での使用流量の変動に応じて、設定された濃度の混合ガスを自動供給します。

 通常、混合ガス配管の使用端は分岐していて、必要に応じて自由に使用される為流量が大幅に変化する事が有り、時には停止する事も有ります。このような場合でもマルチガスミキサーは正確に一定濃度のガスを供給します。

これはマスフローコントローラによる追従制御を元に新たに開発した制御を加えた装置によるものです。したがって広い流量範囲(1:40)で、しかも広い圧力範囲での使用が可能です。FL2型は流量ゼロ対応

使用場所

 

FL1−卓上型

 

 

FL2フル装備

 


FL2 Clean Type

 

FL2−NEW

 

*製作が可能な濃度範囲、ppb〜100%まで

 

 特徴

1, 端末での使用流量の変動に応じて一定濃度の混合ガスを自動供給します。
2,
貯溜用タンクが無いのでコンパクトです。
3, 濃度の設定変更が簡単です。
4, 流体の変更が簡単に出来ます。
5, 使用の為の混合ガス以外の無駄なガスを作りません。

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