半導体製造用超純水装置のご紹介

　半導体製造用超純水装置とは,純度99.999％の超純水を作る装置です。
　当社がこれまでに製造した代表的な超純水装置の製品を、以下にご紹介します。

　多機能イオン交換樹脂を使用した前処理系、高効率真空脱気塔を組み込んだ１次純水系、極低溶出イオン交換樹脂を採用したサブシステム系の３つのシステムから構成されます。６４Ｍビット対応の超純水を作ることができます。

　超純水製造設備のメインシステムです。低圧紫外線処理によりTOC成分を酸化分解した後、アニオンポリッシシャーで除き、さらにカートリッジポリッシャーと外圧式UF膜装置で仕上げ処理をした超純水を提供します。

　飲料用に使用される水は一般的には純水を使用します。そこに各社の味付けがなされて製品となります。その時の製造装置の配管は、サニタリー配管（ステンレス）が使用されます。サニタリー配管装置の一例です。

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